삼성·SK하이닉스·마이크론, SEMI와 반도체 팹 로봇 충전 표준화 협의

삼성전자, SK하이닉스, 마이크론이 국제반도체장비재료협회(SEMI)와 반도체 공장 내 로봇의 충전 표준화를 협의하고 있다고 서울경제가 11월 8일 업계를 인용해 보도했다. 대상은 삼성 기흥캠퍼스와 SK하이닉스 청주캠퍼스 일부 같은 구형 팹이다. 이런 공장에서는 아직도 작업자가 웨이퍼 용기를 수동 밀차에 실어 나른다.

보도에 따르면 세 회사는 세계 메모리 시장의 70% 이상을 차지한다. 핵심은 이 점유율이다. 팹에서는 구매자가 이동형 로봇의 규격을 쓰게 되고, 자체 충전 스테이션을 팔던 로봇 업체는 자신이 설계하지 않은 충전기에 맞춰야 한다.

구형 팹에는 브랜드마다 충전소를 둘 공간이 없다

논의 대상은 휴머노이드, 모바일 매니퓰레이터(바퀴 달린 로봇 팔), AMR이다. 이동형 로봇 대부분은 공통 규격이 없어 개발사마다 충전 방식이 다르다. 구형 팹에는 종류별 충전소를 따로 설치할 유휴 면적이 부족하다. 규격을 하나로 묶으면 더 적은 장비로 여러 업체의 로봇을 충전할 수 있다.

보도에 따르면 첫 단계는 충전 설비의 호환성 확보다. 다음 단계는 충전 정보를 제조실행시스템(MES)과 연계해 생산 일정에 맞춰 로봇별 작업과 충전 시간을 배분하는 것이다. 충전 관련 부품, 장비, 통신 규격이 논의되고 있지만 반도체 업계와 로봇 업계의 역할 분담은 아직 정해지지 않았다.

반도체 업계는 10년 전부터 표준을 원했다

보도에 따르면 업계 안에서는 약 10년 전부터 표준을 일찍 마련해야 한다는 의견이 나왔다. 최근의 로봇 붐과 반도체 업계의 사상 최대 실적이 속도를 붙였다. 박수한 광운대 교수(로봇공학)는 충전 방식이 제각각이면 안전 검증이 어려워진다며 "표준을 세우면 실익이 크다"고 말했다.

가장 가까운 선례는 자동차 업계에 있다. 독일자동차산업협회(VDA)는 올해 4월 로봇 통신 표준 인터페이스를 발표했다. 메모리 3사의 표준은 충전 하드웨어와 팹을 돌리는 시스템까지 더 깊이 들어간다.